sALD roll to roll productiemachine

Voor een folie productie machine om een water barrière laag aan te brengen op folie hebben we een optimalisatie traject gedaan. Dit resulteerde in verschillende kleinere en grotere updates aan de machine alsmede een aantal testtools die ontwikkeld zijn.

De machine wordt aangestuurd door een B&R besturing, inclusief B&R servo controllers. Deze servo regelingen zorgen ervoor dat er zones zijn waar de web spanning in te stellen is t.o.v. de zone ervoor en erachter. Om de actieve kant van de folie te beschermen zijn sommige web loop rollen uitgevoerd als luchtlager.

De machine omvat 3 proces stappen. De eerste is precoating, deze wordt aangebracht doormiddel van een slot die proces. De laatste proces stap is een post coating, dit is een kras vaste laag die ook door middel van slot die wordt aangebracht..

De middelste proces stap is er een sALD (spatial atomic layer deposition) stap. Hierbij worden er atomische laagjes op de folie gedampt. Door een grote drum tegengesteld te laten draaien aan de folie web loop kunnen er meerdere lagen aangebracht worden. Inert gas zorgt voor een gas lager tussen de drum en folie alsmede ook tussen de verschillende soorten reactieve dampen. Zo worden er meerdere lagen aangebracht tijdens een omwenteling van de drum.